मुख्य गुणन बीएफ थर्मोकपल

ऑक्सीकरण प्रसार भट्ठी पीवी कोशिकाओं के उत्पादन के लिए एक प्रमुख प्रक्रिया उपकरण है। यह पीएन जंक्शनों को तैयार करने के लिए उच्च तापमान पर सिलिकॉन वेफर पर बोरॉन, फास्फोरस और अन्य तत्वों की मात्रा को मिलाता है और अलग करता है और इससे एकीकृत सर्किट तैयार करता है।

उत्पाद विवरण

डिफ्यूजन भट्टी के आंतरिक तापमान को नियंत्रित करने के लिए भट्ठी के आंतरिक और बाहरी दोनों हिस्सों को मापने वाले थर्मोक्यूलेस का उपयोग करना आम है जो ऑक्सीकरण प्रक्रिया को पूरा कर सकता है। प्रत्येक निर्दिष्ट तापमान क्षेत्र में एक बाहरी और आंतरिक थर्मोकपल होता है ताकि यह सुनिश्चित हो सके कि माप परिणाम विश्वसनीय हैं। आंतरिक थर्मोकॉउल का उपयोग वेफर तापमान को मापने के लिए किया जाता है, इसमें आमतौर पर 3 ~ 9 माप बिंदु होते हैं, जो वेफर तापमान का सही प्रतिनिधित्व करते हैं। बाहरी थर्मोकॉल्स का उपयोग भट्ठी ट्यूब की बाहरी सतह को महसूस करने के लिए किया जाता है, प्रत्येक में आमतौर पर केवल एक जोड़ी तारों में होती है, भट्ठी का एक अप्रत्यक्ष माप देने के लिए। आमतौर पर, ऑक्सीकरण प्रक्रिया का तापमान प्रसार प्रक्रिया से कम होता है, इस प्रकार, K और N प्रकार मुख्य मल्टीपॉइंट BF थर्मोकपल को तैनात किया जा सकता है।

तकनीकी मापदंड	मुख्य गुणन बीएफ थर्मोकपल
तकनीकी मापदंड	अंदर
प्रकार	K,N
तार या मिम्स व्यास	φ2~4
कामकाजी अस्थायी (डिग्री)	0~950
सटीकता	± 1.5 या 0। 4%· t
सुरक्षात्मक ट्यूब लंबाई (मिमी)	4000 से कम या बराबर
सुरक्षात्मक ट्यूब व्यास	φ14~22
सुरक्षात्मक ट्यूब सामग्री	310 या 321
गर्म अंत संरचना	इन्सुलेटेड
बिंदुओं की संख्या	3 ~ 9 अंक
समापन	छोटा कनेक्टर
मुआवजा तार	Kx (nx) {{{0}} × 0.5fpf
संरचना विशेषताओं	किसी भी बिंदु के लिए टी/सी को अलग करने में आसान, यदि आवश्यक हो तो हटाया जा सकता है