डिफ्यूजन भट्टी जो ऑक्सीकरण प्रक्रिया कर सकती है, वह एक भट्ठी फ्रेम, एक हीटर, एक हीटिंग कंट्रोल डिवाइस, एक तापमान माप उपकरण, एक क्वार्ट्ज भट्ठी ट्यूब, एक पुश-पुल वाहक ट्रे, कुछ गैस पथ और एक निकास गैस उपचार डिवाइस से बना है। इस तरह के प्रसार भट्टियों की तापमान नियंत्रण आवश्यकताएं इस प्रकार हैं:
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ऊष्मायन रेंज |
परिवेश -1100 डिग्री |
नियंत्रण सटीकता |
± 2 डिग्री |
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अधिकतम ताप दर |
15 डिग्री /मिनट |
एकरूपता |
± 0। 5 डिग्री /760 मिमी |
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अधिकतम शीतलन दर |
5 डिग्री /मिनट |
स्थिरता |
± 0। 5 डिग्री /24h |
ऑक्सीकरण प्रसार भट्ठी आमतौर पर तापमान को गतिशील नियंत्रण के लिए भट्ठी के अंदर और बाहर थर्मोकॉल्स का उपयोग करता है। प्रत्येक तापमान क्षेत्र तापमान नियंत्रण की विश्वसनीयता सुनिश्चित करने के लिए थर्मोकपल के अंदर और एक के बाहर एक के साथ सुसज्जित है। S प्रकार सेमीकंडक्टर थर्मोकपल (सामान्य अभ्यास बहु-बिंदु थर्मोकपल का उपयोग करता है जिसमें 3-9 तापमान की जानकारी को हथियाने के लिए अलग-अलग धब्बे होते हैं) को अक्सर अंदर के थर्मोकपल के रूप में चुना जाता है, जिसका उपयोग सीधे सिलिकॉन वेफर के तापमान को महसूस करने के लिए किया जाता है, और यह वेफर तापमान प्रदर्शन के लिए अनुवाद कर सकता है।
उत्पाद विवरण
डुचिन इंस्ट्रूमेंट ने मल्टी-पॉइंट थर्मोकपल के लिए संरचनाओं के प्रकारों को विकसित किया, प्रयोगों के लिए मल्टी-पॉइंट थर्मोकपल कैलिब्रेशन उपकरण, एक प्रकार का कोल्ड-जंक्शन स्ट्रक्चर फॉर्मुल्टी-पॉइंट थर्मोकपल, मल्टी-पॉइंट थर्मोकपल के लिए टर्मिनल पैकेजिंग संरचना का एक प्रकार, ऑक्सिडेशन फर्नीस के लिए मल्टी-पॉइंटिंग के लिए सेंसिटिंग सेंसलिंग, फोटोवोल्टिक उपकरणों के लिए विशेष एस प्रकार के अर्धचालक थर्मोकपल के तकनीकी पैरामीटर इस प्रकार हैं:
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तकनीकी मापदंड |
आंतरिक थर्मोकपल |
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प्रकार |
S,R |
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तार या मिम्स व्यास |
φ0.35~0.5 |
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कामकाजी अस्थायी (डिग्री) |
0~1100 |
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सटीकता |
±1.0 |
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सुरक्षात्मक ट्यूब लंबाई (मिमी) |
4000 से कम या बराबर |
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सुरक्षात्मक ट्यूब व्यास |
φ12~18 |
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सुरक्षात्मक ट्यूब सामग्री |
क्वार्ट्ज |
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गर्म अंत संरचना |
अनावृत |
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बिंदुओं की संख्या |
3 ~ 6 अंक |
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समापन |
छोटा कनेक्टर |
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मुआवजा तार |
Sc {{0}} × 0.5fpf |
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संरचना विशेषताओं |
प्रत्येक बिंदु के लिए संयोजन में टी/सी को इकट्ठा करने के लिए काफी मुश्किल है |
उत्पाद विवरण


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