आवेदन
ऑक्सीकरण प्रसार भट्ठी पीवी कोशिकाओं के उत्पादन के लिए एक प्रमुख प्रक्रिया उपकरण है। यह पीएन जंक्शनों को तैयार करने के लिए उच्च तापमान पर सिलिकॉन वेफर पर बोरॉन, फास्फोरस और अन्य तत्वों की मात्रा को मिलाता है और अलग करता है और इससे एकीकृत सर्किट तैयार करता है। इसका उपयोग वेफर्स की रक्षा के लिए सिलिकॉन वेफर की सतह पर SIOX फिल्मों को तैयार करने के लिए भी किया जा सकता है। यह भट्ठी के आंतरिक और बाहरी भागों को मापने के लिए थर्मोकॉउस का उपयोग करने के लिए आम है जो प्रसार भट्ठी के आंतरिक तापमान को नियंत्रित करने के लिए ऑक्सीकरण प्रक्रिया का प्रदर्शन कर सकता है। प्रत्येक निर्दिष्ट तापमान क्षेत्र में एक बाहरी और आंतरिक थर्मोकपल होता है ताकि यह सुनिश्चित हो सके कि माप परिणाम विश्वसनीय हैं। मल्टीपॉइंट नोबल मेटल क्वार्ट्ज थर्मोकॉल्स का उपयोग वेफर तापमान को मापने के लिए किया जाता है, इसमें आमतौर पर 3 ~ 9 माप बिंदु होते हैं, जो वेफर तापमान का सही प्रतिनिधित्व करते हैं।
उत्पाद विवरण
यह अंत करने के लिए, डुचिन ने स्वामित्व वाली तकनीक और उत्पादों जैसे कि मल्टीपॉइंट नोबल मेटल क्वार्ट्ज थर्मोकपल को प्रसार भट्ठी में पूरे खंड के तापमान माप के लिए विकसित किया है, मल्टी-पॉइंट थर्मोकपल के लिए एक अंशांकन उपकरण।
उत्पाद में विश्वसनीय तापमान माप, उच्च सटीकता, अच्छी स्थिरता, तेजी से थर्मल प्रतिक्रिया, एंटी-इंटरफेरेंस, उच्च और निम्न-तापमान प्रभाव प्रतिरोध, लंबी सेवा जीवन, और इसी तरह के कुछ लक्षण हैं। सेमीकंडक्टर प्रोफाइल थर्मोकपल के तकनीकी पैरामीटर इस प्रकार हैं:
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तकनीकी मापदंड |
अर्धचालक प्रोफ़ाइल थर्मोकपल |
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प्रकार |
S,R |
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तार या मिम्स व्यास |
φ0.35~0.5 |
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कामकाजी अस्थायी (डिग्री) |
0~1100 |
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सटीकता |
±1.0 |
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सुरक्षात्मक ट्यूब लंबाई (मिमी) |
4000 से कम या बराबर |
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सुरक्षात्मक ट्यूब व्यास |
φ12~18 |
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सुरक्षात्मक ट्यूब सामग्री |
क्वार्ट्ज |
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गर्म अंत संरचना |
अनावृत |
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बिंदुओं की संख्या |
3 ~ 6 अंक |
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समापन |
छोटा कनेक्टर |
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मुआवजा तार |
Sc {{0}} × 0.5fpf |
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संरचना विशेषताओं |
प्रत्येक बिंदु के लिए संयोजन में टी/सी को इकट्ठा करने के लिए काफी मुश्किल है |
उत्पाद विवरण



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